TUD

Institut für Automatisierungstechnik

Prozessmessverfahren zur Onlineüberwachung der Abscheidegeschwindigkeit an Chemisch-Nickel-Prozessen

Laufzeit: 
12/2008 - 11/2010 
Projektleiter: 
Dr.-Ing. E. Giebler 
Mitarbeiter: 
Dipl.-Ing. A. Reich, W. Gräfenhan, Doz. Dr.-Ing. S. Hauser, Dipl.-Chem. K.-H. Neumann 
Finanzierung: 
Mitgliedvereinigung: 
Kooperationspartner: 

Kurzbeschreibung:

Der Gegenstand des geplanten FuE-Vorhabens ist ein "Prozessmessverfahren zur Onlineüberwachung der Abscheidegeschwindigkeit an Chemisch-Nickel-Prozessen". Als Messwertaufnehmer wird ein in longitudinale Schwingungen versetztes Sensorband dienen, auf dem eine prozessadäquate Nickelabscheidung stattfindet. Die Eignung der neuartigen Messtechnik für den industriellen Einsatz wird sowohl in Laborversuchen als auch an im Technikumsmaßstab betriebenen Chemisch-Nickel-Prozessen untersucht.

Im Ergebnis des FuE-Vorhabens wird es erstmalig möglich, die Abscheidegeschwindigkeit der komplexen Chemisch-Nickel-Verfahren unter den rauen industriellen Bedingungen online zu messen. Somit können Abweichungen im Prozessgeschehen bereits während der Oberflächenbehandlung und nicht erst durch Schichtdickenmessungen im Nachhinein erkannt werden. Entsprechend werden unverzögerte Prozesseingriffe möglich, wodurch ein wesentlicher Beitrag zur Qualitätssicherung der Chemisch-Nickel-Abscheidung geleistet werden kann. Mit dem im FuE-Vorhaben zu untersuchenden Messverfahren wird ein guter Kompromiss bezüglich Messempfindlichkeit und Standzeit der wechselbaren Sensorbänder möglich sein. Somit entsteht eine Alternative zu den heute im Labor bei der Untersuchung von Abscheideprozessen eingesetzten Quarzmikrowaagen, die zwar eine hohe Empfindlichkeit aber nur sehr kurze Standzeiten haben. Durch die angestrebten Standzeiten des Sensorbandes von einigen Tagen und eine konstruktive Gestaltung, die einen unkomplizierten Wechsel des Sensorbandes ermöglicht, werden die Voraussetzungen geschaffen, das Messverfahren für Prozessmessaufgaben anzuwenden.

Das FuE-Vorhaben wird in engem Kontakt mit dem Fachausschuss "Chemische Metallabscheidung" des Branchenfachverbandes DGO durchgeführt, wodurch eine umfangreiche fachliche Unterstützung bei der Entwicklung einer industrietauglichen Messtechnik erreicht wird. Somit wird die spätere Überführung der Messtechnik in die Betriebspraxis optimal vorbereitet.

Internetseite der Arbeitsgruppe Labor Geschlossene Stoffkreisläufe

Stand: 08.01.2009 12:44
Autor: Webmaster IFA